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  仪器功能参数及备注信息,预约前请仔细阅读!  
  仪器参数:   分辨能力:面内0.2nm, 垂直0.01nm ;
扫描范围:标准扫描器最大可扫描面积 20μm*20um,垂直方向行程±1um ;
样品尺寸:直径不超过35mm,高度不超过10mm;
  仪器备注:     设备包括精工SPA400显微镜和Nanonavi控制系统;主要用于半导体材料样品表面形貌观测及粗糙度分析等;仪器测试须在工作人员指导操作下完成。

  ★ 预约时说明样品数量和表面基本情况,并保证样品洁净干燥尺寸合适;特殊样品及测量要求,或初次测量,请提前联系工作人员;

  ★ 仪器从2012年起开始收费使用,请关注物理系网站说明或询问管理员;用户请使用本人帐号按需预约使用,申请提交后请关注审核情况,如有问题,请及时联系仪器管理员;预约成功后勿随意违约,谢谢合作;

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