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  仪器功能参数及备注信息,预约前请仔细阅读!  
  仪器参数:   浓度测量参数 测量范围:10^13cm^-3—10^20cm^-3 测量深度:0.05μm--50μm 深度分辨率:2nm 光压谱测量参数 分 辨 率:4nm 波长范围:400—2000nm
  仪器备注:   1、本设备主要用于半导体材料的浓度纵向分布、禁带宽度、合金组份、外延层厚度等参数的测量; 2、本设备目前只能测量窄禁带宽度半导体材料的浓度纵向分布; 3、本设备部分附件磨损严重,测量数据可能不准,已申请购买新附件。

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